Ko te hangarau maroke maroke tetahi o nga tukanga matua. Ko te hau maroke maroke he rauemi matua i roto i te hanga semiconductor me tetahi punaha hau nui mo te etchma plasma. Ko tana mahinga e pa ana ki te kounga me te mahi o te hua whakamutunga. Kei te nuinga o tenei tuhinga te mea he aha nga mea e whakamahia ana e te nuinga o nga hau e whakamahia ana i roto i te mahinga maroke maroke.
Nga Taonga-a Fluroine - peneiCarbon Tetrafloride (CF4), HexafluorOethane (C2F6), Trifluoroomethane (CHF3) me PRYOROOPRAROA (C3F8). Ka taea e enei hau te whakaputa i nga rerewira volatile i te wa e pupuhi ana a Silicon me nga whakaranu a Silicon, na reira ka tutuki te tango rauemi.
Nga Taonga-a-Kiwa -a: penei i te chlorine (CL2),Boron Trichloride (BCL3)me Silicon Tetrachloride (Sicl4). Ka taea e nga hau-a-ngongo-te whakarato i nga katote o te kloride i te waa e akiaki ana, hei awhina i te piki haere o te tere me te mohio.
Nga hinu-a Bromine: penei i te bromine (Br2) me te idide idide (ibr). Ka taea e nga hau-a Bromine te whakarato kia pai ake te mahi i nga mahi e akiaki ana, ina koa ko nga taonga uaua penei i te apara Silicon.
Te hauota-hauota-a-hauota me nga hau-axygen: penei i te hauota hauota (NF3) me te hāora (O2). Ko enei hau ka whakamahia hei whakatika i nga ahuatanga o te tauhohenga i roto i te tukanga exting ki te whakapai ake i te whakakotahitanga me te ahunga o te epeng.
Ko enei hau ka tutuki i nga mahi tino pai o te papanga ma te whakakotahitanga o te tinana me te tauhohenga matū i te wa e pupuhi ana a Plansma. Ko te kowhiringa o te hau ki te hau e whakawhirinaki ana ki te momo o te rauemi kia whakauruhia, ko nga whakaritenga whiriwhiri o te epeng, me te utu e hiahiatia ana.
Te wa tuku: Feb-08-2025
