Ko te hangarau tarai maroke tetahi o nga mahi matua. Ko te hau etching maroke he rauemi matua mo te hanga semiconductor me tetahi puna hau nui mo te tarai plasma. Ko tana mahi ka pa tika ki te kounga me te mahi o te hua whakamutunga. Ko te nuinga o tenei tuhinga e korero ana he aha nga hau e whakamahia nuitia ana i roto i te tukanga tarai maroke.
Ko nga hau e pa ana ki te Fluorine: peneitetrafluoride waro (CF4), hexafluoroethane (C2F6), trifluoromethane (CHF3) me te perfluoropropane (C3F8). Ka whai hua enei hau ki te whakaputa i nga fluorides i te wa e werohia ana te hiraka me te pūhui silicon, na reira ka taea te tango rawa.
Ko nga hau maaota: penei i te maaota (Cl2),boron trichloride (BCl3)me te tetrachloride silicon (SiCl4). Ka taea e nga hau maaota te tuku katote chloride i te wa e mahi ana, e awhina ana ki te whakapai ake i te tere o te tarai me te whiriwhiringa.
Ko nga hau e pa ana ki te Bromine: penei i te bromine (Br2) me te bromine iodide (IBr). Ka taea e nga hau e pa ana ki te Bromine te pai ake o te mahi tarai i roto i etahi o nga mahi tarai, ina koa i te wa e werohia ana nga mea uaua penei i te carbide silicon.
Ko nga hau hau-a-hauora me te hau-a-hauora: penei i te hauota trifluoride (NF3) me te hāora (O2). Ka whakamahia enei hau ki te whakatika i nga tikanga tauhohenga i roto i te mahi tarai hei whakapai ake i te whiriwhiringa me te ahunga o te tarai.
Ka taea e enei hau te hopu tika o te mata o te papanga ma te whakakotahitanga o te pupuhi tinana me nga tauhohenga matū i te wa e tarai ana te plasma. Ko te kowhiringa o te hau e tarai ana i runga i te ahua o nga rawa hei tarai, nga whakaritenga whiriwhiri o te tarai, me te tere o te tarai.
Wā tuku: Feb-08-2025
