Te whakamahi i te Hexafroide (WF6)

Ko te Tungsten Hexaforide (WF6) ka penapena ki te mata o te waahi ma te whakakii i nga waahanga CVD, ki te whakakii i nga tohu honohono honohono, me te hanga i te hononga whakarewa i waenga i nga paparanga.

Kia korero mo te Plasma tuatahi. Ko te Plasma he ahua o te mea nui o nga momo miihini me nga katote kua whakapaetia. Ko te nuinga o te ao, ka kiia ko te tuawha o nga mea. Ka kiia ko te State Plasma, i kiia ano ko "Plasma". He nui te whakahaere a Plasma me te kaha o te hononga honohono me te mara electromagnetic. Ko te hau tuihono, he mea hanga i nga hiko, ngota, radical koreutu, nga matūriki kore, me nga whakaahua. Ko te plasma ano he ranunga kore-hiko kei roto i nga matūriki tinana me te matū.

Ko te whakamaarama tika ko te mea i raro i te mahi o te kaha teitei, ka hinga te ngota o te van der waals kaha, te kaha o te bolomb, me te whakaatu i te hiko o te hiko. I te wa ano, ko te kaha o te kaha i tukuna e te hunga o waho e pa ana ki nga ope e toru o runga ake nei. Ko te mahi, ko nga hikohiko me nga katote e whakaatu ana i tetahi ahuatanga koreutu, ka taea te whakamahi i raro i te mahinga o te mara Agnetic, penei i te Tukanga o te Sheciconductor, PVD me te PvD.

He aha te kaha o te kaha? I roto i te kaupapa, ka taea te whakamahi i te RF te nui o te pāmahana nui RF. Ko te tikanga, ko te pāmahana nui te kore e taea te whakatutuki. He tiketike rawa tenei whakaritenga mo te pāmahana me te tata ki te pāmahana o te ra. Kaore pea e taea te whakatutuki i roto i te kaupapa. Na reira, ka whakamahi te umanga i te RF tere-nui ki te whakatutuki. Ka tae atu a Plasma RF ki te teitei o te 13mhz +.

Ko te Tungsten Hexaforide ka whakaipoipo i raro i te mahi o te mara hiko, ka tukuna e te kohu i te mara. He rite ano nga ngota ki nga huruhuru o te takurua ka hinga ki te whenua i raro i te mahi o te kaha. Ma te ata, ka tukuna nga ngota ki roto i nga rua, a ka whakakiia ki tonu i roto i nga rua hei hanga i nga hononga whakarewa. I tua atu ki te penapena w ngota i roto i nga rua, ka penapena ano ratou ki te mata o te kaawhe? Ae, tino. Ko te tikanga, ka taea e koe te whakamahi i te tukanga W-CMP, koinei te mea e kiia ana e matou te tukanga hurihuri miihini hei tango. He rite ki te whakamahi i te ruuma hei horoi i te papa i muri i te hukarere nui. Ko te hukarere i te whenua ka horoia atu, engari ko te hukarere i roto i te poka ka mau tonu. Ki raro, he rite tonu.