Tungsten hexafluoride (WF6) ka tukuna ki te mata o te angiangi na roto i te tukanga CVD, ka whakakiia nga awaawa honohono whakarewa, me te hanga i te hononga whakarewa i waenga i nga paparanga.
Me korero mo te plasma tuatahi. Ko te Plasma he ahua o te mea te nuinga o nga irahiko kore utu me nga katote utu. Kei te noho whanui i te ao, ka kiia ko te ahua tuawha o te matū. Ka kiia ko te ahua plasma, ka kiia ko "Plasma". He nui te hiko o te Plasma, he kaha te hononga hono ki te papa hiko. He hau katote, he irahiko, he katote, he rauropi kore utu, he matūriki kore, he whakaahua. Ko te plasma ake he ranunga kore hiko kei roto nga matūriki hohe tinana me te matū.
Ko te whakamaarama tika i raro i te mahi o te kaha nui, ka hinga te ngota ngota i te kaha van der Waals, te kaha here matū me te kaha Coulomb, me te whakaatu i te ahua o te hiko koretake i te katoa. I te wa ano, ko te kaha o te kaha o waho ka wikitoria i nga mana e toru i runga ake nei. Ko te mahi, ko nga irahiko me nga katote he ahua kore utu, ka taea te whakamahi i raro i te whakarereketanga o te papa autō, penei i te tukanga etching semiconductor, te tukanga CVD, te PVD me te tukanga IMP.
He aha te kaha teitei? I roto i te ariā, ka taea te whakamahi i te pāmahana teitei me te RF auau teitei. I te nuinga o te korero, kare e taea te whakatutuki i te pāmahana teitei. He tiketike rawa tenei whakaritenga pāmahana, he tata pea ki te mahana o te ra. Ko te tikanga kaore e taea te whakatutuki i roto i te tukanga. Na reira, ko te nuinga o nga wa ka whakamahia e te ahumahi te RF auau-nui ki te whakatutuki. Ka taea e Plasma RF te eke ki te 13MHz+.
Ko te hexafluoride Tungsten ka whakakikoruatia i raro i te mahi a te papa hiko, katahi ka tuuhia te kohu e te papa autō. He rite nga ngota W ki nga huruhuru kuihi o te takurua, ka taka ki te whenua i raro i te kaha o te kaha. Ka ata, ka tukuna nga ngota W ki roto i nga rua, katahi ka whakakiia Katoa ma roto i nga rua hei hanga hononga whakarewa. I tua atu i te whakatakoto i nga ngota W ki roto i nga rua, ka waiho ano ki te mata o te Wafer? Ae, tino. I te nuinga o te korero, ka taea e koe te whakamahi i te tukanga W-CMP, koinei te mea e kiia ana e matou ko te tukanga huri miihini hei tango. He rite ki te whakamahi i te puruma ki te tahia i te papa i muri i te hukarere taumaha. Ko te hukarere i runga i te whenua ka tahia, engari ko te hukarere i roto i te rua i runga i te whenua ka mau tonu. Ki raro, he rite tonu.
Wā tuku: Tihema-24-2021
