Ko te Sulfur Hexafloride he hau me te nuinga o te kohinga o te ARC nui me nga raarangi tuku, ka taea hoki te whakamahi i te Sulfur Hexafloride. Ko te Sulfur Astoric Hexafroride he etchronic etchronic etchrontic, e whakamahia whānuitia ana i te mara o te hangarau microelectronics. I tenei ra, ko te Ruau Ruiti Motuhake YueEue ka whakauru i te tono a te whanariki hexafuroride i te sicon nitride exting me te awe o nga taatai rereke.
Ka korerohia e matou te SF6 Plasma Sinx Tukanga, tae atu ki te whakarereke i te mana plasma, me te taapiri i te mana o te papaa o te SFRETS o te SFRETS One. Ko te reiti raupatu, me te tirotiro i te hononga i waenga i te huringa o te utu o te SinX ext me te kukume momo plasma.
Kua kitea nga rangahau i te wa e piki haere ana te mana plasma, ka piki haere te utu; Mena ka piki haere te tere o te SF6 i roto i te Plasma, ka piki haere te kukume F Atom, he pai te whakatikatika me te utu o te utu. Hei taapiri, i muri i te taapiri i te hau o te O2 i raro i te toenga o te reanga rere, engari he rereke nga waahanga o te O2 / SF6, ka nui ake te utu o te O2 / SF6. (2) Ka nui ake te paanga o te O2 / SF6 ki te 0.2 ki te tata ki te waa, na te nui o te ngaro o te SF6 ki te hanga i te utu Fo Atoms; Engari i te wa ano, ko nga ngota i roto i te plasma kei te piki haere ano hoki te hanga Siox, te harakeke ranei, me te nui o nga ngota o nga ngota mo te urupare a te F mo te urupare a te F. Na reira, ka tiimata te heke o te tatauranga o te o2 / SF6 ki te 1. (3) ka nui ake te paanga o te O2 / SF6 i te 1, ka heke te utu o te O2. Na te nui o te pikinga o O2, ko nga ngota o te ngaro o te O2 me te ahua o te kukume o nga ngota f ngota, i te heke o te reiti. Ka kitea mai i tenei ka tapiritia te O2, ko te reanga rere o O2 / SF6 kei waenganui i te 0.2 me te 0.8, a, ko te utu pai rawa atu ka taea te whiwhi.
Te wa tuku: Dec-06-2021
