Ko te hexafluoride te whanariki he hau me nga ahuatanga whakamaarama pai, he maha nga wa e whakamahia ana i roto i te pewa ngaohiko teitei e tinei ana me nga huringa, nga raina whakawhiti ngaohiko teitei, nga huringa, me etahi atu. Heoi, hei taapiri i enei mahi, ka taea hoki te whakamahi hexafluoride whanariki hei hiko hiko . Ko te hexafluoride sulfur hexafluoride he pai rawa atu, e whakamahia nuitia ana i roto i te hangarau microelectronics. I tenei ra, ko Yueyue etita hau motuhake a Niu Ruide ka whakauru i te whakamahinga o te hexafluoride whanariki i roto i te haukini nitride silicon me te awe o nga tawhā rereke.
Ka matapakihia te SF6 plasma etching SiNx tukanga, tae atu ki te huri i te mana plasma, te hau o te hau o SF6/He me te taapiri i te hau cationic O2, te matapaki i tona awe ki runga i te reiti etching o te paparanga tiaki huānga SiNx o TFT, me te whakamahi i te radiation plasma. Ka tātarihia e te spectrometer nga huringa kukū o ia momo i roto i te SF6/He, SF6/He/O2 plasma me te reiti wehewehenga SF6, me te torotoro i te hononga i waenga i te huringa o Te tere o te tarai SiNx me te kukū o nga momo plasma.
Kua kitea e nga rangahau ka piki ake te kaha o te plasma, ka piki te tere o te tarai; ki te piki ake te rere o te SF6 i roto i te plasma, ka piki te kukū o te ngota F, ka pai te hono ki te reeti etching. I tua atu, i muri i te taapiri i te hau cationic O2 i raro i te rerenga rerenga katoa, ka whai hua ki te whakanui ake i te tere o te tarai, engari i raro i nga rereke rereke o O2 / SF6, ka rereke nga momo tauhohenga, ka taea te wehewehe ki nga wahanga e toru. : (1 ) He iti rawa te rere o te rere O2/SF6, ka taea e O2 te awhina i te wehewehenga o SF6, a, ko te tere o te tarai i tenei wa ka nui ake i te kore e taapirihia te O2. (2) Ka nui ake te rere o te O2 / SF6 i te 0.2 ki te waahi e tata ana ki te 1, i tenei wa, na te nui o te wehewehenga o te SF6 ki te hanga i nga ngota F, ko te reeti etching te teitei; engari i te wa ano, kei te piki haere ano nga ngota O i roto i te plasma a He ngawari ki te hanga SiOx, SiNxO(yx) ranei me te mata kiriata SiNx, me te piki ake o nga ngota O, ka uaua ake nga ngota F mo te tauhohenga hakihaki. No reira, ka timata te tere o te tarai i te wa e tata ana te owehenga O2/SF6 ki te 1. (3) Ka nui ake te owehenga O2/SF6 i te 1, ka heke te tere o te tarai. Na te nui o te pikinga o te O2, ka tuki nga ngota F kua wehea ki te O2 me te ahua OF, ka heke te kukū o nga ngota F, ka heke te tere o te tarai. Ka kitea mai i tenei ka taapirihia te O2, ko te tauwehenga rere o te O2/SF6 kei waenganui i te 0.2 me te 0.8, ka taea te whiwhi i te reeti tarai pai.
Wā tuku: Tihema-06-2021
