Ko te nui rawa o te hau motuhake hiko - Nitrogen Triforide NF3

Ko te umanga semiconductor a to tatou whenua me te ahumahi roopu e mau tonu ana i te kaha o te angitu. Ko te hauota hauota te nui me te nui-rahi-rahi-nui rawa atu i roto i te whakaputa me te tukatuka o nga papa me nga siconductors, he waahi nui te maakete.

Ko te whakamahi i nga hau hiko-hiko e whakamahia anaSulfur Hexafrooride (SF6), Tungsten Hexaforide (WF6),Carbon Tetrafloride (CF4), Trifluoroomethane (CHF3), NITROGEN Triforide (NF3), Hexafluotoethane (C2F6) me OctAfluoroproproproproproproproproproproproproproproprop Ko te Nitrogen Triforide (NF3) te nuinga e whakamahia ana hei puna huakore mo te hauwai flurogen fluorde-floride hau pākahiko teitei-pūngao matū. Ko te waahanga whai hua (e pa ana ki te 25%) o te kaha o te tau waenga i te H2-O2 me te F2 ka taea e te Laser Day Rodiation nga taiwhanga tino whakatairanga i waenga i nga miihini matū.

Ko te hauota te hauota he pai rawa atu i te papa rererangi o te microelectronics. Mo te Etching Silicon me Silicon Nitride, he reanga nui ake te reiti me te ranunga waro Ina koa i te etching o nga rauemi hurihuri whakakotahi me te matotoru iti ake i te 1.5um, ko te huringa o te hauota tino pai me te kore e toenga i runga i te mata o te taonga, a he kaihoko tino pai rawa atu. Ma te whanaketanga o Nanotechnology me te whanaketanga nui o te Ahumahi Elechonics, ka nui ake te tono i ia ra.

Ka rite ki te momo hau-a-wai-nui, ko te Nitrogen Triforide (NF3) te hua hiko hiko nui rawa atu i te maakete. Ko te koretake o te ao i te pāmahana o te rūma, he kaha ake i te hāora, ka kaha ake i te fluronine, he ngawari ki te hapai i te pāmahana tiketike.

Ko te nuinga o te hauota te nuinga e whakamahia ana ko te kaihoroi hau hau me te uruparenga o te whare miihini, e whakaatu ana i nga mara semiconductor, nga muka matariki, nga punaha photocal, me nga pūtau photorical, me nga punaha photocal, me nga punaha photorical, me nga pūtau photorical

I whakaritea ki etahi atu o nga hau hiko-a-hiko, he painga nui me te nui o te toenga, he mea tino pai ki te tuunga o te papaa, a kaore i te poke i te Nga hiahia o te tukanga tukatuka.