I roto i te mahinga whakangao o te semiconductor Wafer nga rakau me nga tukanga whakaputa tino kaha, tata ki te 50 nga momo hau rereke e hiahiatia ana. Ko te tikanga ka wehea nga hau ki roto i nga hau nui me teTuhinga o mua.

Te tono o nga hau i roto i te microelectrocs me nga ahumahi ahumoana Ko te whakamahi i nga hau ka whai waahi ki nga tikanga semiconductor, ina koa ko nga tikanga semiconductor e whakamahia whānuitia ana i roto i nga momo ahumoana. Mai i te ULSI, TFT-LCD ki te umanga-a-rorohiko o naianei, ko nga tukanga semiconductor e whakamahia ana hei tukanga whakangao hua, tae atu ki te etchring hua, te waikawa.

Hei tauira, he maha nga taangata e mohio ana ko nga maramara he mea hanga i te onepu, engari e titiro ana ki te katoa o te mahi maramara, penei i te kaihanga kaihanga, he mea hangai, he hau motuhake, me etahi atu, me etahi atu. Ka hiahiatia ano e te kohinga tuara te tarai, ko nga rongoā, ko nga kaiwhakawhitiwhiti, me nga taonga honohono, me etahi atu momo taonga. Ko nga haunga motuhake hiko ko te waahanga tuarua tuarua kei roto i nga utu mo te whakangao i muri i nga wa o Silicon Wafers, ka whai i nga tohu me nga kaiwhakaari.

Ko te poke o te hau he awe mo te waahanga o te hua me te hua o te hinu, me te haumaru o te hinu ki te hauora o nga kaimahi me te haumaru o te mahi wheketere. He aha te take nui o te hau e pa ana ki te raina tukanga me nga kaimahi? Ehara tenei i te mea nui, engari kua whakatauhia e nga ahuatanga kino o te hau.

Whakarōpūtanga o nga hau noa i roto i te umanga semiconductor

Hau noa

Ko te hau noa e kiia ana ko te hau nui: he mea e pa ana ki te hau ahuwhenua me te iti o te whakaritenga mo te 5n me te nui o te hanga. Ka taea te wehewehe ki te hau wehe hau me te hau hauhautanga kia rite ki nga tikanga whakarite rereke. Ko te haukana (H2), Nitrogen (N2), Oxygen (O2), Argon (A2), etc.;

Hau motuhake

Ko te hau motuhake e tohu ana ki te hau ahumahi e whakamahia ana i roto i nga waahanga motuhake me nga whakaritenga motuhake mo te ma, te momo, me nga taonga. MatuaSih4, Ph3, B2H6, A8H3,Hlc, Cf4,NH3, Poccl3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, Pēc., Sif4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... me era atu.

Nga momo o nga hau tuururu

Nga momo o nga haunga motuhake: te piriti, te paitini, te haki, te whakakotahitanga-tautoko, te maero, me etahi atu.
Kua whakarōpūhia nga hau semiconductor e whai ake nei:
(i) Adonicsive / paitini:Hlc, BF3, WF6, HBR, SIH2CL2, NH3, PH3, CL2,Pēc....
(ii) He muramura: H2,Ch4Kāore,Sih4, Ph3, Ash3, SIH2CL2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO ...
(iii) Te whakakotahitanga: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) Irort: N2,Cf4, C2f6,C4f8Kāore,SF6, CO2,NeKāore,Kr, He ...

I roto i te tukanga o te mahi maramara semiconductor, tata ki te 50 nga momo rereke o nga hau motuhake (he rereke, he whakahekenga, te taatai, me etahi atu waahanga neke atu i nga rau. Hei tauira, ko te PH3 me te Ash3 e whakamahia ana hei putunga o te phosphorus me nga taonga whakatipu i te IION, CHF3, NH3, SF6, NH3, NH3

Mai i nga waahanga i runga ake nei, ka maarama tatou kei te kino te maha o nga hauota semiconductor ki te tinana o te tangata. Ina koa, ko etahi o nga hau, penei i a SIH4, he koretake ia. Ka rite ki te wa e tu ana ratou, ka kaha te mahi ki te hāora i te hau ka tiimata ka tiimata; A ko te Ash3 he paitini tino. Ko etahi whakarereketanga iti ka kino ki te oranga o te tangata, na reira ko nga whakaritenga mo te haumaru o te hoahoa punaha whakahaere mo te whakamahi i nga hau motuhake e tino teitei ana.

Ko te hiahia a Semiconductors kia nui te purea ki te "e toru nga nekehanga"

Te mārō o te hau

Ko te kiko o te poke o te hau i roto i te hau ka whakaatuhia he tatauranga o te poke o te hau, penei i te 99.9999%. Ko te tikanga, ko te tikanga ma mo te hinu motuhake hiko e tae ana ki te 5n-6n, a kua whakaatuhia ano hoki e te tauwehenga o te hauhautanga o te ao poke (waahanga mo te pllion). Ko te mara semiconductor Elecconductor e tino whakaritea ana mo te pokekore me te kounga o nga hinu motuhake, a ko te ma o te hinu hiko hiko he nui ake i te 6n.

Maroke

Ko te kiko o te wai ki te hau, i te maroke ranei, i te nuinga o te waa i te wa o te mata, penei i te Atmospheric Dew Point -70 ℃.

Noho mā

Ko te maha o nga matūriki porehu i roto i te hau, matūriki me te rahi matūriki o μm, e hia nga matūriki / m3. Mo te hau hurihuri, ka whakaatuhia i te MG / M3 o nga toenga totoka kaore e taea te aukati, kei roto i te ihirangi hinu.