I roto i nga mahi whakangao o nga wafer wafer semiconductor me nga tikanga whakangao ahua matatau, tata ki te 50 nga momo hau e hiahiatia ana. Ko te nuinga o nga wa ka wehewehea nga hau ki nga hau nui mehau motuhake.

Te whakamahinga o nga hau i roto i nga umanga miihiniiti me nga umanga hikohiko Ko te whakamahinga o te hau he waahi nui i nga wa katoa i roto i nga tukanga semiconductor, ina koa ko nga tikanga semiconductor e whakamahia nuitia ana i roto i nga momo ahumahi. Mai i te ULSI, TFT-LCD ki te ahumahi micro-electromechanical (MEMS) o naianei, ka whakamahia nga tukanga semiconductor hei tukanga whakaputa hua, tae atu ki te whakamaroke maroke, te waikura, te whakauru katote, te whakahekenga kiriata angiangi, me era atu.

Hei tauira, he maha nga tangata e mohio ana ka mahia he maramara ki te onepu, engari ma te titiro ki te katoa o nga mahi o te hanga maramara, ka nui ake nga taonga e hiahiatia ana, penei i te photoresist, te wai whakakoi, te mea i whaaia, te hau motuhake, me era atu mea. Kei te hiahia hoki ki te whakangao i te tuara he taputapu, he kaiwawao, he papa mata, he rauemi hono, me etahi atu o nga momo rauemi. Ko nga hau motuhake hiko te tuarua o nga rawa nui rawa atu i roto i nga utu whakangao semiconductor whai muri i nga angiangi silicon, whai muri mai ko nga kanohi kanohi me nga photoresists.

Ko te ma o te hau he awe nui ki te mahi o te waahanga me te hua o nga hua, a ko te haumaru o te tuku hau e pa ana ki te hauora o nga kaimahi me te haumaru o te mahi wheketere. He aha te take o te ma o te hau e tino pa ana ki te raina tukanga me nga kaimahi? Ehara tenei i te whakaroa, engari ka whakatauhia e nga ahuatanga kino o te hau.

Te whakarōpūtanga o nga hau noa i roto i te ahumahi semiconductor

hau noa

Ko te hau noa e kiia ana ko te hau nui: e pa ana ki te hau ahumahi me te whakaritenga parakore i raro iho i te 5N me te nui o te whakaputanga me te rahinga hoko. Ka taea te wehewehe ki te hau wehenga hau me te hau waihanga kia rite ki nga tikanga whakarite rereke. Hauwai (H2), hauota (N2), hāora (O2), argon (A2), aha atu;

Hau Motuhake

Ko te hau motuhake e pa ana ki te hau ahumahi e whakamahia ana i roto i nga mara motuhake me nga whakaritenga motuhake mo te ma, momo, me nga rawa. Ko te nuingaSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… me era atu.

Nga momo hau hau

Nga momo hau motuhake: te pirau, te paitini, te mura ahi, te tautoko-whakawera, te koretake, aha atu.
Ka whakarōpūhia nga hau semiconductor e whai ake nei:
(i) Hakairi/paitini:HClBF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) Ka mura: H2,CH4、SiH4、PH3,AsH3,SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO…
(iii) Ka mura: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Karekau: N2,CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2,Ne、Kr、Ko ia…

I roto i te tukanga o te hanga maramara semiconductor, tata ki te 50 momo momo hau motuhake (e kiia ana he hau motuhake) e whakamahia ana i roto i te waikura, te whakamaarama, te whakaheke, te wero, te werohanga, te whakaahua whakaahua me etahi atu tukanga, a ko te tapeke o nga taahiraa o te tukanga neke atu i nga rau. Hei tauira, ka whakamahia te PH3 me te AsH3 hei puna ūkuikui me te arsenic i roto i te tukanga whakauru katote, nga hau F-based CF4, CHF3, SF6 me nga hau halogen CI2, BCI3, HBr e whakamahia nuitia ana i roto i te tukanga etching, SiH4, NH3, N2O i roto i te tukanga kiriata waipara, F2/Kr/Ne, Kr/Ne i te tukanga whakaahua whakaahua.

Mai i nga waahanga o runga ake nei, ka mohio tatou he maha nga hau semiconductor e kino ana ki te tinana o te tangata. Ina koa, ko etahi o nga hau, penei i te SiH4, kei te mura ake. I te wa e pakaru ana, ka kaha te mahi me te hāora i roto i te rangi ka timata te wera; me te AsH3 he tino paitini. Ko te iti o te rerenga ka pa he kino ki te oranga o te tangata, no reira ko nga whakaritenga mo te haumaru o te hoahoa punaha whakahaere mo te whakamahi hau motuhake he tino tiketike.

Ko nga Semiconductors e hiahia ana ki nga hau parakore teitei kia "toru nga nekehanga"

Pure hau

Ko te ihirangi o te hau poke i roto i te hau ka kiia ko te paheketanga o te maa hau, penei i te 99.9999%. I te nuinga o te korero, ko te whakaritenga para mo nga hau motuhake hiko ka tae ki te 5N-6N, ka whakaatuhia ano hoki e te owehenga o te rōrahi o te poke o te hau hau ppm (waahanga mo ia miriona), ppb (waahanga mo ia piriona), me te ppt (waahanga ia trillion). Ko te mara hiko hiko he tino whakaritenga mo te ma me te kounga o nga hau motuhake, a ko te ma o nga hau motuhake hiko he nui ake i te 6N.

Te maroke

Ko te ihirangi o te wai i roto i te hau, te makuku ranei, ka whakaatuhia ki te toma, penei i te ira tomairangi -70 ℃.

Te ma

Ko te maha o nga matūriki poke i roto i te hau, matūriki he µm te rahi o te matūriki, ka whakaatuhia ki te maha o nga matūriki/M3. Mo te hau kōpeke, ka whakaatuhia ki te mg/m3 o nga toenga totoka kaore e taea te karo, kei roto ko te hinu.