hauwai pūhaumāotahe hau kore tae me te hongi. Ko tona wairewa wai ka kiia ko te waikawa maaota, e mohiotia ana ko te waikawa maaota. He tino wairewa te hauwai ki te wai. I te 0°C, 1 rōrahi wai ka memeha tata ki te 500 rōrahi hauwai pūhaumāota.

Kei a ia nga ahuatanga me nga ahuatanga e whai ake nei:

1. Te parakore teitei

Ko te ma o te kōeke hikohauwai pūhaumāotahe tiketike rawa, i te nuinga o te waa i te ppm, i te taumata iti iho ranei, kia kore ai he poke e uru mai ki roto i te mahi hangahanga semiconductor.

2. Korekore

He hau matū karekau e tauhohe ki etahi atu matū, he mea tino nui ki te aukati i te poke o nga rawa me nga taputapu.

3. Pumautanga teitei

Koeke hikohauwai pūhaumāotate tikanga he matū pūmau ki te whakarite pono tukatuka semiconductor.

I roto i te tukatuka semiconductor, ko nga tono matua o te hauwai hauwai hauwai hiko ko:

1. Te horoi me te whakarite i te mata

Hei kai horoi mata pai, he tohu hikohauwai pūhaumāotaka whakamahia ki te tango i nga waikura me nga poke mai i te mata o te taputapu hei whakarite i te kounga me te ma o te paparanga epitaxial, kiriata ranei.

2.Epitaxial tipu awhina

Ka whakamahia hei kaihoko maimoatanga mata i roto i te tukanga epitaxial, ka awhina i te whakapai ake i te kounga o te paparanga epitaxial, te whakapai ake i te whakahoahoa, me te whakaiti i te hanganga o nga hapa o te reanga.

3. Te maimoatanga o mua o te papanga

I mua i te whakaritenga o nga taputapu semiconductor, tohu hikohauwai pūhaumāotaka taea te whakamahi ki te hamani i te mata tïpako ki te hanga i te turanga u ki te whakapai ake i te adhesion i waenganui i te paparanga epitaxial me te tïpako.

4. Whakatakoto i te kaihoko awhina

I roto i te tukanga o te waipara kohu matū (CVD) ranei te waipara kohu tinana (PVD), ka taea te whakamahi i te hauwai hauwai hauwai hei waahi whakawhiti hau ki te uru atu ki te tauhohenga waipara o nga rauemi semiconductor.

5. Kaihoko whakawhiti hau-waahanga

I te mea he kaihoko whakawhiti hau-waahanga, ka whakauruhia etahi atu hau kawa ki roto i te ruuma tauhohenga hei awhina i te whakatikatika i te reiti waipara me te riterite o nga rawa.

Ko enei ahuatanga ka hangaia he tohu hikohauwai pūhaumāotahe kaihoko tukatuka nui i roto i te hangarau semiconductor, he paanga nui ki te mahi me te pono o te taputapu whakamutunga.

I tua atu i tana whakamahinga i roto i te tukatuka semiconductor, ka taea e te hiko hiko hauwai hauwai te kimi i nga momo whakamahinga i etahi atu waahi, tae atu ki: Te Whakaritenga o nga rawa parakore teitei, Nga Waahi Waahi, Te tipu o te rauemi Semiconductor, Ko te Waahanga Waahanga Lithography, Te Tirohanga Rawa, Te Rangahau Matū.

I te nuinga o te waa, te tohu hikohauwai pūhaumāotahe hau maha, he parakore teitei, he maha nga momo tono i waho o te hanga semiconductor.