hau taiaho

Ko te hau taiaho te nuinga e whakamahia ana mo te whakaene taiaho me te hau lithography i roto i te umanga hiko. Ma te whai hua mai i te auahatanga o nga mata waea pūkoro me te toronga o nga waahi tono, ka piki ake te tauine o te maakete polysilicon iti-mahana, a kua tino pai ake te mahi a te laser annealing i nga mahi o nga TFT. I roto i te neon, fluorine, me te argon hau e whakamahia ana i roto i te ArF excimer laser mo te hanga semiconductor, neke atu i te 96% o te ranunga hau laser. Na te whakamahine o te hangarau semiconductor, kua piki ake te whakamahinga o nga laser excimer, me te whakaurunga o te hangarau whakakitenga rua kua arahina ki te piki nui o te hiahia mo te hau hau hau i pau i te ArF excimer lasers. Ma te whai hua mai i te whakatairanga i te waahi o nga hau motuhake hiko, ka pai ake te tipu o te maakete a nga kaihanga o nga kaainga a meake nei.

Ko te miihini Lithography te taputapu matua o te hanga semiconductor. Ko te Lithography e tohu ana i te rahi o nga transistors. Ko te whakahiatotanga o te mekameka ahumahi tuhi te mea matua ki te pakaruhanga o te miihini tuhi. Ko nga mea hangahanga riterite penei i te photoresist, te hau photolithography, te whakamaarama whakaahua, me te paninga me nga taputapu whakawhanake he mea hangarau teitei. Ko te hau Lithography te hau e mahia ana e te miihini lithography te taiaho ultraviolet hohonu. Ka taea e nga hau rereke rereke te whakaputa i nga puna marama o nga roangaru rereke, ka pa ana te roangaru ki te whakatau o te miihini tuhi, koinei tetahi o nga matua o te miihini tuhi. I te tau 2020, ko te katoa o nga hoko o nga miihini lithography i te ao ka 413 nga waeine, ko te hokonga o te ASML 258 nga waahanga mo te 62%, ko nga hoko Canon 122 nga waahanga mo te 30%, me te hoko Nikon 33 nga waahanga mo te 8%.