Nga hau motuhakererekē i te whānuihau ahumahii roto i te mea he whakamahinga motuhake a raatau ka whakamahia ki nga waahi motuhake. Kei a raatau nga whakaritenga motuhake mo te ma, te parakore, te hanganga, me nga ahuatanga o te tinana me te matū. Ka whakatauritea ki nga hau ahumahi, he rereke nga momo momo haurehu motuhake engari he iti ake te whakaputanga me nga pukapuka hoko.

Ko tehau hanumiahau whakataurite paerewae whakamahia ana e matou he waahanga nui o nga hau motuhake. Ko te nuinga o nga wa ka wehewehea nga hau whakauru ki nga hau whakauru whanui me nga hau whakauru hiko.

Ko nga hau whakauru whanui ko:hau whakaranu taiaho, te kimi taputapu hau whakananuhia, te whakakoi i te hau whakauru, te tiaki i te hau whakauru, te puna rama hiko te hau whakauru, te rangahau hauora me te rangahau koiora hau whakauru, te whakakino me te whakahoromata i te hau whakauru, te whakaoho taputapu hau whakauru, te pehanga teitei o te hau whakauru, me te hau kore-kore.

Ko nga ranunga hau hiko kei roto ko nga ranunga hau epitaxial, ko nga whakangao hau whakangao kohu matū, ko nga ranunga hau doping, ko nga whakangao hau eta, me etahi atu ranunga hau hiko. Ko enei ranunga hau he mahi nui ki roto i te ahumahi semiconductor me te microelectronics, ka whakamahia nuitia i roto i nga waahanga nui-nui (LSI) me nga mahi whakahiato-nui-nui (VLSI), tae atu ki te hanga taputapu semiconductor.

5 Ko nga momo hau hanumi hiko te mea tino whakamahia

Doping hau hanumi

I roto i te hanga o nga taputapu semiconductor me nga iahiko whakauru, ka whakauruhia etahi poke ki roto i nga rauemi semiconductor ki te tuku i te kawe me te parenga e hiahiatia ana, e taea ai te hanga i nga parenga, nga hononga PN, nga papahanga kua tanumia, me etahi atu taonga. Ko nga hau e whakamahia ana i roto i te tukanga doping ka kiia ko te hau dopant. Ko enei hau ko te arsenic, phosphine, phosphorus trifluoride, phosphorus pentafluoride, arsenic trifluoride, arsenic pentafluoride,boron trifluoride, me te diborane. Ko te puna dopant te tikanga ka konatunatua ki te hau kawe (pēnei i te argon me te hauota) i roto i te rūnanga puna. Ka werohia te hau i konatunatua ki roto i te oumu whakamaarama ka huri huri noa i te angiangi, ka waiho te dopant ki runga i te mata angiangi. Ka tauhohe te dopant ki te silicon ki te hanga i te whakarewa dopant ka heke ki roto i te silicon.

Te ranunga hau epitaxial growth

Ko te tipu epitaxial ko te tukanga o te whakatakoto me te whakatipu i tetahi rawa karaihe kotahi ki runga i te mata tïpako. I roto i te ahumahi semiconductor, ko nga hau i whakamahia ki te whakatipu i te kotahi, neke atu ranei o nga papahanga o nga rawa ma te whakamahi i te waipara kohu matū (CVD) i runga i te tïpako kua tohua, ka kiia ko te hau epitaxial. Ko nga hau epitaxial silicon noa ko te dihydrogen dichlorosilane, te tetrachloride silicon, me te silane. Ko te nuinga o te waa e whakamahia ana mo te whakamaarama epitaxial silicon, polycrystalline silicon deposition, silicon oxide film deposition, silicon nitride film deposition, me te amorphous silicon film deposition mo nga pūtau solar me etahi atu taputapu whakaahua.

hau implantation katote

I roto i te taputapu semiconductor me te hanga ara iahiko whakauru, ko nga hau e whakamahia ana i roto i te tukanga whakauru katote ka kiia ko te hau implantation katote. Ko nga poke katote (pērā i te boron, te ūkuikui, me te katote arsenic) ka whakaterehia ki te taumata pūngao teitei i mua i te whakatō ki te tïpako. Ko te hangarau whakaurunga katote e whakamahia nuitia ana hei whakahaere i te ngaohiko paepae. Ka taea te whakatau i te nui o nga poke i whakatohia ma te ine i te naianei kurupae katote. Ko nga hau whakauru katote ko te ūkuikui, arsenic, me te hau boron.

Te wero hau hanumi

Ko te tarai ko te tukanga o te tarai i te mata kua tukatukahia (penei i te kiriata whakarewa, te kiriata waikura silicon, me etahi atu) i runga i te taputapu kaore e hunahia e te photoresist, me te tiaki i te waahi kua hunahia e te photoresist, kia whiwhi ai i te tauira whakaahua e hiahiatia ana i runga i te mata o te taputapu.

Te Whakaranu Hau Maama Kohu Kohu

Ko te waipara matū matū (CVD) ka whakamahi i te pūhui wariu hei whakatakoto i te matū kotahi, i te pūhui ranei na roto i te tauhohenga matū-waa kohu. He tikanga hanga kiriata tenei e whakamahi ana i nga tauhohenga matū-waahi kohu. He rereke nga haurehu CVD e whakamahia ana i runga i te ahua o te kiriata ka hangaia.