Epitaxial (tupu)Ranu Gas

I roto i te ahumahi semiconductor, ko te hau i whakamahia ki te whakatipu i te kotahi, neke atu ranei o nga papahanga o te papanga ma te whakangao kohu matū ki runga i tetahi tïpako kua tohua ka kiia ko te hau epitaxial.

Ko nga hau epitaxial silicon e tino whakamahia ana ko te dichlorosilane, te tetrachloride silicon mehirini. Ko te nuinga o te whakamahi mo te waipara epitaxial silicon, silicon oxide film deposition, silicon nitride film deposition, amorphous silicon film deposition mo nga pūtau solar me etahi atu photoreceptors, me etahi atu Ko te Epitaxy he tukanga e whakatakotohia ai he mea karaihe kotahi ka tipu ki runga i te mata o te tïpako.

Matū Kohu Kohu (CVD) Hau Hanumi

Ko te CVD he tikanga mo te whakatakoto i etahi o nga huānga me nga pūhui na roto i nga tauhohenga matū wahanga hau ma te whakamahi i nga pūhui wariu, ara, he tikanga hanga kiriata ma te whakamahi i nga tauhohenga matū wahanga hau. I runga i te ahua o te kiriata i hangaia, he rereke ano te hau matū (CVD) i whakamahia.

DopingHau Hanumi

I roto i te hanga o nga taputapu semiconductor me nga iahiko whakauru, ka whakauruhia etahi poke ki roto i nga rauemi semiconductor hei hoatu i nga rauemi te momo kawe e hiahiatia ana me tetahi parenga ki te hanga parenga, nga hononga PN, nga papaa kua tanumia, me era atu.

Ko te nuinga ko te arsenic, phosphine, phosphorus trifluoride, phosphorus pentafluoride, arsenic trifluoride, arsenic pentafluoride,boron trifluoride, diborane, etc.

Ko te tikanga, ka konatunatua te puna doping ki te hau kawe (penei i te argon me te hauota) i roto i te rūnanga puna. Whai muri i te ranu, ka werohia te rere hau ki roto i te oumu whakamaarama ka karapotia te angiangi, ka waiho he dopants ki runga i te mata o te angiangi, katahi ka tauhohe ki te hiako ki te whakaputa i nga konganuku doped ka heke ki roto ki te hiako.

Te taraiWhakaranu Hau

Ko te tarai he whakakore i te mata tukatuka (penei i te kiriata whakarewa, te kiriata waikura silicon, me etahi atu) i runga i te tïpako me te kore he whakamaarama photoresist, me te tiaki i te waahi me te whakamaarama whakaahua, kia whiwhi ai i te tauira whakaahua e hiahiatia ana i runga i te mata o te taputapu.

Ko nga tikanga mo te tarai matū ko te makutu matū me te matū maroke. Ko te hau e whakamahia ana i roto i te matū matū maroke e kiia ana ko te hau etching.

I te nuinga o te wa ko te hau kawa kawa (halide), penei i tetetrafluoride waro, hauota trifluoride, trifluoromethane, hexafluoroethane, perfluoropropane, etc.