Epitaxial (tipu)Whakaranu ana i rotos

I roto i te ahumahi semiconductor, i tipu te hau i te nuinga o nga papaa ranei na te putunga o te kohu waitini i runga i te raima kua tohua ko te hau epitaxial.

Ko nga miihini o te Epitaxial Epitaxial e whakamahia ana ko Dichloorilane, Silicon Tetrachloride me tetāhiwi. Ko te nuinga o te whakahekenga Silicon Silicon, Silicon Filding Fildition Fildition, Silicon Nitride Fildition, ko nga whakaahua a te amorphsoptors, me etahi atu etctamptaxt.

Ko te whakahekenga o te kohinga matū (CVD) hau hau

Ko te CVD he tikanga mo te penapena i etahi waahanga me nga whakahiatotanga e nga waahanga hau hau ma te whakamahi i nga pūhui matū, ara, he tikanga hanga kiriata ma te whakamahi i nga tauhonga matū hau. I runga ano i te momo kiriata i hangaia, ko te huringa kohurutanga matū (CVD) he rereke ano hoki.

PapaHau whakaranu

I roto i te waihanga i nga taputapu semiconductor me nga waahanga whakaurunga, ka tukuna etahi poke ki nga taonga semiconductor hei hoatu i nga taonga o te mana whakahaere, i tanumia te hau.

Ko te nuinga kei roto i te arsaine, te phosphine, te phosphorus triforide, te pensaforide, arsanic triforide, arnsic pennforide,Boron Triforide, Diborane, etc.

I te nuinga o te waa, ka whakaranuhia te puna doping ki te hau kawe (penei i te Argon me te hauota) i roto i te tari matua. I muri i te whakaranu, ka rere tonu te rere hau ki roto i te oumu wehewehe, ka huri i te kaihoroi i te mata o te kaimekemeke, ka huri ki te silicon ki te whakaputa i nga konganuku dilicon.

HaehaeRanunga hau

Ko te etching ko te whakakore i te mata tukatuka (penei i te kiriata whakarewa, Silicon Oxide kiriata, etc..

Ko nga tikanga eping e whakauru ana i te kaimoana matū maku me te kaakahu matū maroke. Ko te hau e whakamahia ana i roto i te maroke matū maroke ka kiia ko te hau etch.

Ko te hau etching te nuinga o te hau hau (Halide), peneiKarakia tetraforide, Nitrogen Triforide, Trifluoroomethane, Hexafluoroethane, Perfloroproopropi, etc.