Boron trichloride (BCl3)he pūhui pararopi e whakamahia nuitia ana i roto i nga tukanga whakamaroke me te tuku matū kohu (CVD) i roto i nga mahi hangahanga hiko. He hau kore tae me te haunga kaha i te pāmahana rūma, he tairongo ki te hau makuku na te mea ka waiwai ki te whakaputa i te waikawa waikawa me te waikawa boric.

Nga tono o Boron Trichloride

I roto i te ahumahi semiconductor,Boron trichlorideka whakamahia te nuinga mo te whakamaroke o te konumohe me te dopant hei hanga rohe momo-P i runga i nga angiangi silicon. Ka taea hoki te whakamahi ki te tarai i nga taonga penei i te GaAs, Si, AlN, me te puna boron i etahi tono motuhake. I tua atu, ka whakamahia nuitia te Boron trichloride i roto i te tukatuka whakarewa, te ahumahi karaihe, te rangahau matū me te rangahau taiwhanga.

Haumaru o Boron Trichloride

Boron trichloridehe waikura, he paitini, ka pa he kino ki nga kanohi me te kiri. Ka waiwai i roto i te hau makuku ki te tuku hauwai hauwai hauwai paitini. No reira, me mahi nga tikanga haumaru i te wa e whakahaere anaBoron trichloride, tae atu ki te mau kakahu whakamarumaru, motiuri me nga taputapu whakamarumaru manawa, me te mahi i roto i te taiao hau pai.