He rite tonu ta matou mahi i to matou wairua o te "Innovation e kawe whakamua ana, He tino kounga te oranga, he painga hokohoko Whakahaere, He whiwhinga nama e kukume ana i nga kaihoko mo Haina High Purity Carbon Tetrafluoride CF4 Gas mo te Ahumahi Semiconductor Etching, Ka mihi matou ki nga hoa mai i nga waahi katoa o te oranga o ia ra ki te whai i te mahi tahi me te hanga apopo ake te kanapa me te tino ataahua.
He rite tonu ta matou mahi i to matou wairua o te "Whakahoutanga e kawe whakamua ana, Ko te kounga teitei te oranga, te painga hokohoko Whakahaere, Te kaute nama e kukume ana i nga kaihoko moHaina CF4 Hau Rerigerant, Putaka hau, Ko matou to hoa pono ki nga maakete o te ao me nga taonga o te kounga pai. Ko o maatau painga ko te auahatanga, te ngawari me te pono i hangaia i roto i nga tau e rua tekau kua hipa. Ka arotahi matou ki te whakarato ratonga mo o taatau kiritaki hei kaupapa matua ki te whakapakari i o maatau hononga mo te wa roa. Ko ta tatou wateatanga o nga otinga reanga teitei me o taatau ratonga pai i mua i te hoko me muri i te hokonga ka whakarite kia kaha te whakataetae i roto i te maakete huri noa i te ao.
| Whakatakotoranga | 99.999% |
| Oxygen+Argon | ≤1ppm |
| hauota | ≤4 ppm |
| Makuku(H2O) | ≤3 ppm |
| HF | ≤0.1 ppm |
| CO | ≤0.1 ppm |
| CO2 | ≤1 ppm |
| SF6 | ≤1 ppm |
| Haocarbine | ≤1 ppm |
| Nga poke katoa | ≤10 ppm |
Ko te waro tetrafluoride he hauwai hauhau me te tauira matū CF4. Ka taea te whakaaro he hauwai waro, he mewaro, he perfluorocarbon, he puhui parakore ranei. Ko te waro tetrafluoride he hau kore tae me te haunga kore, karekau e rewa ki te wai, memeha ki te benzene me te chloroform. Ka noho pumau i raro i te pāmahana me te pehanga noa, karohia nga waikura kaha, nga rawa muramura, muramura ranei. Ko te hau e kore e mura, ka piki ake te pehanga o roto o te ipu i te wa e pa ana ki te wera nui, a he kino te pakaru me te pahū. He matū pūmau me te kore e mura. Ko te reagent whakarewa haukini-konutai wai anake ka taea te mahi i te pāmahana rūma. Ko te waro tetrafluoride he hau e puta ai te paanga kati. He tino pumau, ka taea te noho roa ki roto i te hau mo te wa roa, he hau kati kati tino kaha. Ka whakamahia te tetrafluoride waro i roto i te tukanga tarai plasma o nga momo iahiko whakauru. Ka whakamahia ano he hau laser, ka whakamahia i roto i nga whakamahana iti-mahana, nga whakarewa, nga hinu, nga mea whakamahana, me nga mea whakamahana mo nga kaitoro infrared. Ko te hau etching plasma tino whakamahia i roto i te ahumahi microelectronics. Ko te ranunga o te tetrafluoromethane hau parakore teitei me te tetrafluoromethane hau parakore teitei me te hāora parakore teitei. Ka taea te whakamahi whanui i roto i te silicon, te hauhautanga silicon, te nitride silicon, me te karaihe phosphosilicate. Ko te whakairo o nga taonga kiriata angiangi penei i te tungsten me te tungsten kei te whakamahia nuitia i roto i te horoi o te mata o nga taputapu hiko, te hanga pūtau solar, te hangarau laser, te whakamahana iti-mahana, te tirotiro i te turuturu, me te horoi horoi i roto i te whakaputa ara iahiko. Ka whakamahia hei whakamahana iti-mahana me te hangarau whakamaroke plasma mo nga iahiko whakauru. Whakatupato mo te rokiroki: Rokiroki i roto i te whare putunga hau hauhautanga, hau kore e mura. Kia matara atu i te ahi me nga puna wera. Ko te pāmahana rokiroki kia kaua e neke ake i te 30°C. Me penapena motuhake mai i nga mea ngeru (whakaahu) me nga waikura, me te karo i te rokiroki whakauru. Ko te waahi rokiroki me whakauru ki nga taputapu maimoatanga ohorere.
① Refrigerant:
I etahi wa ka whakamahia te Tetrafluoromethane hei whakamahana mahana iti.
② Te tuhi:
Ka whakamahia i roto i te miihini hikohikohiko anake, i te whakakotahitanga ranei me te hāora hei whakamaarama plasma mo te silicon, silicon dioxide, me te silicon nitride.
| Hua | Carbon Tetrafluoride CF4 | ||
| Rahi mokete | 40Ltr Potakaro | 50Ltr Potakaro | |
| Whakakī Taumaha Kupenga/Cyl | 30Kgs | 38Kgs | |
| QTY I utaina ki te 20'Ipu | 250 Kiriata | 250 Kiriata | |
| Taumaha Net Tapeke | 7.5 Tane | 9.5 Tona | |
| Taumaha Tare Porotakaro | 50Kgs | 55Kgs | |
| Takirere | CGA 580 | ||
①High pure, whare hou;
②ISO kaihanga tiwhikete;
③Te tuku tere;
④Ko te punaha tātari-a-ipurangi mo te whakahaere kounga i ia taahiraa;
⑤Ko te hiahia nui me te tukanga tino pai mo te whakahaere i te rango i mua i te whakakii;He rite tonu ta matou mahi i to matou wairua o te "Innovation e kawe whakamua ana, He tino kounga te oranga, he painga hokohoko Whakahaere, He whiwhinga nama e kukume ana i nga kaihoko mo Haina High Purity Carbon Tetrafluoride CF4 Gas mo te Ahumahi Semiconductor Etching, Ka mihi matou ki nga hoa mai i nga waahi katoa o te oranga o ia ra ki te whai i te mahi tahi me te hanga apopo ake te kanapa me te tino ataahua.
Hoko weraHaina CF4 Hau Rerigerant, Putaka hau, Ko matou to hoa pono ki nga maakete o te ao me nga taonga o te kounga pai. Ko o maatau painga ko te auahatanga, te ngawari me te pono i hangaia i roto i nga tau e rua tekau kua hipa. Ka arotahi matou ki te whakarato ratonga mo o taatau kiritaki hei kaupapa matua ki te whakapakari i o maatau hononga mo te wa roa. Ko ta tatou wateatanga o nga otinga reanga teitei me o taatau ratonga pai i mua i te hoko me muri i te hokonga ka whakarite kia kaha te whakataetae i roto i te maakete huri noa i te ao.