Ko ta matou e whai ana kia kite i te ahua kino o te kounga teitei mai i te whakaputanga me te whakarato i nga awhina pai rawa atu ki nga tumanakohanga o te kaainga me nga whenua o waho mo te Whare Taonga Haina Motuhake Hau / Semiconductor Whakamahi Hau / Carbon Tetrafluoride CF4 / Boron Trichloride Bcl3 / Nitrogen Trifluoride NF3 / Sulfur Hexafluoride Sf6 / Silane Sih4, ako tetahi ki tetahi pakihi tuatahi. He pakihi ano, kei te eke te whakawhirinaki ki reira. To matou kamupene i nga wa katoa i to ratonga i nga wa katoa.
Ko ta matou whainga kia kite i te ahua kino o te kounga teitei mai i te whakaputanga me te whakarato i nga awhina pai rawa atu ki nga tumanakohanga o roto me tawahi ma te ngakau katoa.Haina Silane Sih4, Silane Sih4 Gas, Na te tipu o te kamupene, inaianei kua hokona a maatau hua me te mahi ki nga whenua neke atu i te 15 huri noa i te ao, penei i Uropi, Amerika Te Tai Tokerau, Waenga-rawhiti, Amerika ki te Tonga, Ahia ki te Tonga me etahi atu. I a matou e mau ana i roto i o maatau whakaaro he mea nui te mahi hou mo to tatou tipu, ko te whakawhanaketanga hua hou kei nga wa katoa.I tua atu, Ko o tatou rautaki mahi ngawari me te pai, Ko nga taonga kounga teitei me nga utu whakataetae ko nga mea e rapuhia ana e a tatou kaihoko. He nui hoki nga ratonga ka whakawhiwhia mai ki a maatau te ingoa pai.
Whakatakotoranga |
|
Bcl3 | ≥99.9% |
Cl2 | ≤10ppm |
SiCl4 | ≤300ppm |
Whakatakotoranga |
|
Bcl3 | ≥ 99.999% |
O2 | ≤ 1.5 ppm |
N2 | ≤ 50 ppm |
CO | ≤ 1.2 ppm |
CO2 | ≤ 2 ppm |
CH4 | ≤ 0.5 ppm |
COCL2 | ≤ 1 ppm |
Ko te Boron trichloride he pūhui pararopi me te tātai matū BCl3. I raro i te pāmahana me te pehanga noa, he hau kore tae, paitini me te hau kino me te haunga tarutaru me te hongi. He taumaha ake i te hau. Kaore e wera i te hau. He pūmau i roto i te ewaro tino, ka pirau i roto i te wai, i te waipiro ranei hei whakaputa i te waikawa boric me te waikawa maataa, me te tuku i te wera nui, ka puta te auahi na te waiwai i roto i te hau makuku, ka pirau ki te waikawa maaka me te ester waikawa boric i roto i te waipiro. Boron trichloride he kaha tauhohenga kaha, ka taea te hanga i te momo o te ruruku pūhui, a he teitei thermodynamic pūmautanga, engari i raro i te mahi o te rere hiko, ka pirau ki te hanga i te iti-utu pūhaumāota boron. I roto i te hau, ka taea e te boron trichloride te tauhohe ki te karaehe me te uku ina whakamahana, ka taea hoki te tauhohe me te maha o nga matū waro hei hanga i nga momo momo oroboro. I whakamahia te nuinga hei puna doping mo te hikohiko semiconductor, ka whakamahia ki te whakarite i nga momo puhui boron, ka whakamahia ano hoki hei whakakorikori whakahiato pararopi, he whakarewa-tahi mo te whakangao silicate, me te boronization o te rino, me etahi atu, ka taea hoki te whakamahi ki te whakaputa i te boron nitride me te boron Alkane pūhui. He tino paitini te Boron trichloride, he nui te mahi tauhohenga matū, ka paopao ki te wai. Ka whakaputa pea i te chloroacetylene pahū me te parahi me ona koranu. He tino pirau ki te nuinga o nga konganuku ina pa ana ki te makuku ka taea hoki te waikura te karaihe. I roto i te hau makuku, ka taea te hanga i te paowa paowa ma. He kaha te tauhohenga ki te wai, ka whakaputa i te hau hauwai hauwai hauwai hauwai. He mea kino ki te tinana te horonga a te tangata, te whakahaere a-waha, te whakauru ranei ki te kiri. Ka taea te weranga matū. I tua atu, he kino hoki ki te taiao.Me penapena te Boron trichloride i roto i te whare putunga haumaru hauhautanga me te hau. Kia matara atu i te ahi me nga puna wera. Ko te pāmahana rokiroki me pupuri i raro i te 35 ℃ (kia kaua e teitei ake te pāmahana rokiroki i te 52 ℃). Ko te rango maitai me whakanoho tika, kia hiritia te ipu (valve) me te whakauru i te potae rango. Me penapena motuhake mai i etahi atu matū, me te waahi rokiroki me nga taputapu maimoatanga ohorere leakage.
1. Whakamahi matū:
Ka taea te whakamahi BCL3 ki te hanga i te boron parakore teitei, te whakakorikori whakahiato waro; rite te rere o te pirau o te silicate; whakamahia mo te rino boronizing
2. Nga wahie:
Kua whakamahia i roto i te waahi o nga waahi o te kaha o te kaha me nga pupuhi toka hei puna o te boron ki te whakanui i te uara BTU.
3. Te tuhi:
Ka whakamahia ano te BCl3 i roto i te plasma etching i roto i te hanga semiconductor. Ka werohia e tenei hau nga waikura konganuku ma te hanga o nga puhui BOClX hepohepo.
Hua | Boron Trichloride BCL3 |
Rahi mokete | DOT 47Ltr Cylinder |
Whakakī Ihirangi/Cyl | 50Kgs |
QTY I utaina ki te 20'Ipu | 240 Kiriata |
Rōrahi Tapeke | 12 Tane |
Taumaha Tare Cylinder | 50Kgs |
Takirere | CGA 660 SS |
1. Ka hangaia e to maatau wheketere te BCL3 mai i te kounga teitei o nga rauemi mata, haunga te utu he iti noa.
2. Ka puta te BCL3 i muri i nga wa maha o nga tikanga mo te purenga me te whakatikatika i roto i to maatau wheketere. Ko te punaha whakahaere ipurangi ka whakatau i te para o te hau i ia wahanga. Ko te hua kua oti me eke ki te paerewa.
3. I te wa o te whakakī, me whakamaroke te porotaka mo te wa roa(i te iti rawa 16 haora), katahi ka whakawetohia e matou te rango, ka mutu ka nekehia e matou ki te hau taketake. Ko enei tikanga katoa ka whakarite kia parakore te hau i roto i te rango.
4. Kua noho matou i roto i te mara Gas mo nga tau maha, he nui nga wheako ki te whakaputa me te kaweake kia riro mai i a maatau nga kaihoko'whakawhirinaki, ka makona ratou ki ta maatau ratonga me te tuku korero pai.Ko ta matou e whai ana kia kite i te ahua kino o te kounga teitei mai i te whakaputanga me te whakarato i nga awhina pai rawa atu ki nga tumanakohanga o te kaainga me nga whenua o waho mo te Whare Taonga Haina Motuhake Hau / Semiconductor Whakamahi Hau / Carbon Tetrafluoride CF4 / Boron Trichloride Bcl3 / Nitrogen Trifluoride NF3 / Sulfur Hexafluoride Sf6 / Silane Sih4, ako tetahi ki tetahi pakihi tuatahi. He pakihi ano, kei te eke te whakawhirinaki ki reira. To matou kamupene i nga wa katoa i to ratonga i nga wa katoa.
Whakawhiwhia wheketereHaina Silane Sih4, Silane Sih4 Gas, Na te tipu o te kamupene, inaianei kua hokona a maatau hua me te mahi ki nga whenua neke atu i te 15 huri noa i te ao, penei i Uropi, Amerika Te Tai Tokerau, Waenga-rawhiti, Amerika ki te Tonga, Ahia ki te Tonga me etahi atu. I a matou e mau ana i roto i o maatau whakaaro he mea nui te mahi hou mo to tatou tipu, ko te whakawhanaketanga hua hou kei nga wa katoa.I tua atu, Ko o tatou rautaki mahi ngawari me te pai, Ko nga taonga kounga teitei me nga utu whakataetae ko nga mea e rapuhia ana e a tatou kaihoko. He nui hoki nga ratonga ka whakawhiwhia mai ki a maatau te ingoa pai.