Ko ta matou e whai ana kia kite i te ahua kino o te kounga teitei mai i te whakaputanga me te whakarato i nga awhina pai rawa atu ki nga tumanakohanga o te kaainga me o tawahi mo te Kaihanga Kaihanga Haina Motuhake Hau / Semiconductor Whakamahi Hau / Carbon Tetrafluoride CF4 / Boron Trichloride Bcl3 / Nitrogen Trifluoride NF3 / Sulfur Hexafluoride Sf6 / Silane Sih4, Pakihi tuatahi, ka ako tatou tetahi ki tetahi. He pakihi ano, kei te eke te whakawhirinaki ki reira. To matou kamupene i nga wa katoa i to ratonga i nga wa katoa.
Ko ta matou whainga kia kite i te ahua kino o te kounga teitei mai i te whakaputanga me te whakarato i nga awhina pai rawa atu ki nga tumanakohanga o roto me tawahi ma te ngakau katoa.Haina Silane Sih4, Silane Sih4 Gas, Na te tipu o te kamupene, inaianei kua hokona a maatau hua me te mahi ki nga whenua neke atu i te 15 huri noa i te ao, penei i Uropi, Amerika Te Tai Tokerau, Waenga-rawhiti, Amerika ki te Tonga, Ahia ki te Tonga me etahi atu. I a matou e mau ana i roto i o maatau whakaaro he mea nui te mahi hou mo to tatou tipu, ko te whakawhanaketanga hua hou kei nga wa katoa.I tua atu, Ko o tatou rautaki mahi ngawari me te pai, Ko nga taonga kounga teitei me nga utu whakataetae ko nga mea e rapuhia ana e a tatou kaihoko. He nui hoki nga ratonga ka whai ingoa pai ki a matou.
Whakatakotoranga |
|
Bcl3 | ≥99.9% |
Cl2 | ≤10ppm |
SiCl4 | ≤300ppm |
Whakatakotoranga |
|
Bcl3 | ≥ 99.999% |
O2 | ≤ 1.5 ppm |
N2 | ≤ 50 ppm |
CO | ≤ 1.2 ppm |
CO2 | ≤ 2 ppm |
CH4 | ≤ 0.5 ppm |
COCL2 | ≤ 1 ppm |
Ko te Boron trichloride he pūhui pararopi me te tātai matū BCl3. I raro i te pāmahana me te pehanga noa, he hau kore tae, paitini me te hau kino me te haunga tarutaru me te hongi. He taumaha ake i te hau. Kaore e wera i te hau. He pūmau i roto i te ewaro tino, ka pirau i roto i te wai, i te waipiro ranei hei whakaputa i te waikawa boric me te waikawa maataa, me te tuku i te wera nui, ka puta te auahi na te waiwai i roto i te hau makuku, ka pirau ki te waikawa maaka me te ester waikawa boric i roto i te waipiro. Boron trichloride he kaha tauhohenga kaha, ka taea te hanga i te momo o te ruruku pūhui, a he teitei thermodynamic pūmautanga, engari i raro i te mahi o te rere hiko, ka pirau ki te hanga i te iti-utu pūhaumāota boron. I roto i te hau, ka taea e te boron trichloride te tauhohe ki te karaehe me te uku ina whakamahana, ka taea hoki te tauhohe me te maha o nga matū waro hei hanga i nga momo momo oroboro. Ka whakamahia te nuinga hei puna doping mo te silicon semiconductor, ka whakamahia ki te whakarite i nga momo puhui boron, ka whakamahia ano hoki hei whakakorikori whakahiato pararopi, nga whakarewa-tahi mo te pirau silicate, me te boronization o te maitai, me etahi atu, ka taea hoki te whakamahi ki te whakaputa boron nitride me te boron. Pūhui Alkane. He tino paitini te Boron trichloride, he nui te mahi tauhohenga matū, ka paopao ki te wai. Ka whakaputa pea i te chloroacetylene pahū me te parahi me ona koranu. He tino pirau ki te nuinga o nga konganuku ina pa ana ki te makuku ka taea hoki te waikura te karaihe. I roto i te hau makuku, ka taea te hanga i te auahi ma te matotoru. He kaha te tauhohenga ki te wai, ka whakaputa i te hau hauwai hauwai hauwai hauwai. He mea kino ki te tinana te horonga a te tangata, te whakahaere a-waha, te whakauru ranei ki te kiri. Ka taea te weranga matū. I tua atu, he kino hoki ki te taiao.Me penapena te Boron trichloride i roto i te whare putunga haumaru hauhautanga me te hau. Kia matara atu i te ahi me nga puna wera. Ko te pāmahana rokiroki me pupuri i raro i te 35 ℃ (kia kaua e teitei ake te pāmahana rokiroki i te 52 ℃). Me whakanoho te rango maitai, kia hiritia te ipu (valve) me te whakauru i te potae rango. Me penapena motuhake mai i etahi atu matū, me te waahi rokiroki me nga taputapu maimoatanga ohorere leakage.
1. Whakamahi matū:
Ka taea te whakamahi BCL3 ki te hanga i te boron parakore teitei, te whakakorikori whakahiato waro; rite te rere o te pirau o te silicate; whakamahia mo te rino boronizing
2. Nga wahie:
Kua whakamahia i roto i te waahi o nga waahi o te kaha o te kaha me nga pupuhi toka hei puna o te boron ki te whakanui i te uara BTU.
3. Te tuhi:
Ka whakamahia ano te BCl3 i roto i te plasma etching i roto i te hanga semiconductor. Ka werohia e tenei hau nga waikura konganuku ma te hanga o nga puhui BOClX hepohepo.
Hua | Boron Trichloride BCL3 |
Rahi mokete | DOT 47Ltr Cylinder |
Whakakī Ihirangi/Cyl | 50Kgs |
QTY I utaina ki te 20'Ipu | 240 Kiriata |
Rōrahi Tapeke | 12 Tane |
Taumaha Tare Porotakaro | 50Kgs |
Takirere | CGA 660 SS |
1. Ka hangaia e to maatau wheketere te BCL3 mai i te kounga teitei o nga rauemi mata, haunga te utu he iti noa.
2. Ka puta te BCL3 i muri i nga wa maha o nga tikanga mo te purenga me te whakatikatika i roto i to maatau wheketere. Ko te punaha whakahaere ipurangi ka whakatau i te para o te hau i ia wahanga. Ko te hua kua oti me eke ki te paerewa.
3. I te wa o te whakakī, me whakamaroke te porotaka mo te wa roa(i te iti rawa 16 haora), katahi ka whakawetohia e matou te rango, ka mutu ka nekehia e matou ki te hau taketake. Ko enei tikanga katoa ka whakarite kia parakore te hau i roto i te rango.
4. Kua noho matou i roto i te mara Gas mo nga tau maha, he nui nga wheako ki te whakaputa me te kaweake kia riro mai i a maatau nga kaihoko'whakawhirinaki, ka makona ratou ki ta maatau ratonga me te tuku korero pai.Ko ta matou e whai ana kia kite i te ahua kino o te kounga teitei mai i te whakaputanga me te whakarato i nga awhina pai rawa atu ki nga tumanakohanga o te kaainga me o tawahi mo te Kaihanga Kaihanga Haina Motuhake Hau / Semiconductor Whakamahi Hau / Carbon Tetrafluoride CF4 / Boron Trichloride Bcl3 / Nitrogen Trifluoride NF3 / Sulfur Hexafluoride Sf6 / Silane Sih4, Pakihi tuatahi, ka ako tatou tetahi ki tetahi. He pakihi ano, kei te eke te whakawhirinaki ki reira. To matou kamupene i nga wa katoa i to ratonga i nga wa katoa.
Whakawhiwhia wheketereHaina Silane Sih4, Silane Sih4 Gas, Na te tipu o te kamupene, inaianei kua hokona a maatau hua me te mahi ki nga whenua neke atu i te 15 huri noa i te ao, penei i Uropi, Amerika Te Tai Tokerau, Waenga-rawhiti, Amerika ki te Tonga, Ahia ki te Tonga me etahi atu. I a matou e mau ana i roto i o maatau whakaaro he mea nui te mahi hou mo to tatou tipu, ko te whakawhanaketanga hua hou kei nga wa katoa.I tua atu, Ko o tatou rautaki mahi ngawari me te pai, Ko nga taonga kounga teitei me nga utu whakataetae ko nga mea e rapuhia ana e a tatou kaihoko. He nui hoki nga ratonga ka whai ingoa pai ki a matou.